Нелокальный алгоритм анализа данных монохроматического контроля процесса напыления многослойных покрытий
Кочиков И.В., Лагутин Ю.С., Лагутина А.А., Лукьяненко Д.В., Тихонравов А.В., Ягола А.Г.

Предложен новый алгоритм определения значений экстремумов измеряемой в процессе напыления многослойного покрытия зависимости значения коэффициента отражения от оптической толщины напыляемого слоя. Алгоритм использует физическую модель процесса напыления, что позволяет использовать все данные измерений, накопленные регистрирующим прибором во время напыления слоя, в отличие от классических подходов, которые хорошо описывают зависимость коэффициента отражения только вблизи ее экстремума. Эффективность предложенного подхода продемонстрирована на примере моделирования процесса напыления 20-слойного четвертьволнового зеркала.

Ключевые слова: вычислительные алгоритмы, анализ экспериментальных данных, тонкослойные покрытия, монохроматический оптический контроль.

Название статьи, аннотация и ключевые слова на английском языке

  • Кочиков И.В. – Научно-исследовательский вычислительный центр МГУ им. М.В. Ломоносова, Ленинские горы, 119992, Москва; профессор, e-mail: igor@kochikov.ru
  • Лагутин Ю.С. – Физический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова, Ленинские горы, 119991, Москва; студент, e-mail: lagutin.math@gmail.com
  • Лагутина А.А. – Физический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова, Ленинские горы, 119991, Москва; студент, e-mail: lagutina.math@gmail.com
  • Лукьяненко Д.В. – Физический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова, Ленинские горы, 119991, Москва; доцент, e-mail: lukyanenko@physics.msu.ru
  • Тихонравов А.В. – Научно-исследовательский вычислительный центр МГУ им. М.В. Ломоносова, Ленинские горы, 119992, Москва; зав. лабораторией, e-mail: tikh@srcc.msu.ru
  • Ягола А.Г. – Физический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова, Ленинские горы, 119991, Москва; профессор, e-mail: yagola@physics.msu.ru