Алгоритм суперкомпьютерного моделирования напыления оптических нанопокрытий
Григорьев Ф.В., Кочиков И.В., Кондакова О.А., Сулимов В.Б., Тихонравов А.В.

Предложен алгоритм суперкомпьютерного моделирования высокоэнергетических процессов напыления оптических нанопокрытий. Алгоритм основан на использовании классической молекулярной динамики атомистического уровня, что позволяет изучать структурные особенности напыляемых нанопокрытий на масштабах от одного ангстрема до десятков нанометров. Параметры моделирования определены на примере пленки диоксида кремния по результатам проведенных ранее численных экспериментов по изучению взаимодействия отдельных высокоэнергетических атомов кремния с подложкой. Обсуждаются результаты применения метода для напыления пленки диоксида кремния.

Ключевые слова: суперкомпьютерное моделирование, молекулярная динамика, тонкие пленки, диоксид кремния, напыление

Название статьи, аннотация и ключевые слова на английском языке

Григорьев Ф.В., вед. науч. сотр., e-mail: fedor.grigoriev@gmail.com;   Кочиков И.В., вед. науч. сотр., e-mail: igor@kochikov.ru;   Кондакова О.А., ст. науч. сотр., e-mail: olga.kondakova@srcc.msu.su;   Сулимов В.Б., зав. лабораторией, e-mail: vladimir.sulimov@gmail.com;   Тихонравов А.В., директор, e-mail: tikh@srcc.msu.su – Научно-исследовательский вычислительный центр, Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Ленинские горы, д. 1, стр. 4, 119991, Москва