Решение обратной задачи восстановления сигнала электронного микроскопа в режиме отраженных электронов на множестве функций ограниченной вариации
Кошев Н.А., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Ягола А.Г.

Быстрое развитие микро- и нанотехнологий влечет за собой развитие методов диагностики и изучения микроскопических структур. Одним из таких методов является томография в режиме отраженных электронов. Пространственное разрешение сигнала электронного микроскопа может быть повышено путем решения обратной задачи восстановления сигнала, определяемого свойствами образца и электронного зонда. Рассматривается метод решения задачи восстановления сигнала на множестве функций с ограниченной полной вариацией и его численная реализация. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (код проекта 11-01-00040) и Visby Program, Swedish Institute, Stockholm.

Ключевые слова: микроскопия, обратные задачи, цифровая обработка изображений, вариация

Название статьи, аннотация и ключевые слова на английском языке

Кошев Н.А., аспирант, e-mail: nikolay.koshev@gmail.com; - Пензенский государственный университет архитектуры и строительства, ул. Титова, 28, 440028, Пенза;
Орликовский Н.А., аспирант, e-mail: rau@phys.msu.ru;   Рау Э.И., профессор, e-mail: rau@phys.msu.ru;   Ягола А.Г., профессор, e-mail: yagola@physics.msu.ru - Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, физический факультет, Ленинские горы, д. 1, стр. 2, 119991, Москва