Подготовка, обработка и визуализация данных для изготовления голограмм на электронно-лучевой установке ZBA-21
Сережников С.Ю.

     Разработан пакет программ для проектирования и изготовления компьютерно-синтезированных голограмм с помощью технологии электронно-лучевой литографии на установке ZBA-21. Пакет позволяет визуализировать микрорельеф, подготовленный для экспонирования, переводить данные из растрового формата в формат, используемый ZBA, а также формировать полные данные для экспонирования микрорельефа голограммы из отдельных элементов. Пакет программ используется для изготовления оригиналов голограмм в НИВЦ МГУ.

Сережников С.Ю. - Институт вычислительной математики РАН, ул. Губкина , 8, 117333, Москва, e-mail: ssj@pc759.cmc.msu.ru